矩形微槽道结构与平板微热管传热特性研究
【出 处】:
【作 者】:
李伟
李杰超
李卓
闫卫平
大连理工大学电子科学与技术学院
辽宁大连116024
【摘 要】为研究矩形槽道深度对平板微热管传热特性的影响.根据ANSYS(有限元)软件瞬态热仿真结果进行结构设计,利用MEMS(微电子机械系统)干法刻蚀工艺分别制作了不同深度的等宽和不等宽矩形槽道平板微热管。采用乙醇液体工质并在加热功率恒定的条件下,分析了不同充液率的平板微热管轴向温度分布及其等效导热系数。研究结果表明:在加热功率为3.1w的条件下,槽道深度为220μm的矩形槽道微热管比槽道深度为180μm的矩形槽道微热管传热性能提高近60%,不等宽矩形槽道微热管的轴向温差为25℃左右,要优于等宽矩形槽道微热管的45℃。由此得到微槽道的深度越深,微热管传热性能越佳;不等宽槽道微热管的传热性能优于等宽槽道微热管。
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